YX-9型藍(lán)寶石定向粘接設(shè)備，主要是針對(duì)未切片前的藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行定向與粘接，儀器利用專門設(shè)計(jì)的夾具對(duì)晶棒進(jìn)行X軸與Y軸的調(diào)整，將晶棒偏離的角度定向校準(zhǔn)后與料板進(jìn)行粘接，顯示器為外置式，樣品托板加裝高精度稱重直線軌道，可測(cè)量直徑2-6英寸，長(zhǎng)50-260mm的晶棒。
技術(shù)參數(shù)：
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X 射線管 |
銅靶，陽極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
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管 電 壓 |
30KVP，全壓合閘 |
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管 電 流 |
0-5mA，連續(xù)可調(diào) |
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電源輸入 |
交流220V 不大于0.3KW |
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綜合精度 |
±30″ |
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角度數(shù)字顯示 |
θ：度、分、秒顯示，最小讀數(shù)10″ |
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計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度 |
2θ角-10°-----+120° |
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樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度 |
θ角-10°-----+60° |
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計(jì) 數(shù) 管 |
蓋革計(jì)數(shù)管，工作電壓700---1200V |
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時(shí) 間 常 數(shù) |
0.1、0.4、3秒；3檔可調(diào) |
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保 護(hù) |
高壓連鎖保護(hù)，溫度保護(hù) |
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狹 縫 |
4′、5′、6′ |
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測(cè)晶體重量 |
最重30KG的晶棒 |
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測(cè)晶體直徑 |
一側(cè)Φ2-------Φ6英寸晶圓片、晶棒 |
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測(cè)晶棒長(zhǎng)度 |
另一側(cè)Φ2-------Φ4英寸,260毫米長(zhǎng)晶棒 |
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工 作 位 |
雙測(cè)角儀、雙工作臺(tái) |
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外型尺寸 |
1140×650×1030mm |
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儀器重量 |
250KG | |
