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用途：將粘接好的晶棒，連同料板一同拿到Y(jié)X-6F定向儀上，料板底部靠在測角儀的基準(zhǔn)面上，打開光閘進(jìn)行復(fù)檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進(jìn)行X軸的復(fù)檢測量，測量后的結(jié)果可與YX-6D的打印結(jié)果進(jìn)行對照，如有差異，可將晶棒從料板取下，重新粘接，大大保證了切割前晶棒的粘接精度。
技術(shù)參數(shù)：
X射 線 管
銅靶，陽極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷
管 電 壓
30KVP，全壓合閘
管 電 流
0---5mA，連續(xù)可調(diào)
整 機(jī) 功 率
不大于0.3KW
定 向 精 度
±30″
蝸輪運(yùn)動誤差
不大于30″
計(jì)數(shù)器轉(zhuǎn)角度
-10°------+100°
樣品轉(zhuǎn)角度
-10°------+50°
計(jì) 數(shù) 管
蓋革管，電壓600-----1100V
時間常 數(shù)
分0.1、0.4、3秒三檔可調(diào)
保 護(hù)
高壓連鎖保護(hù)，溫度保護(hù)
狹 縫
4′、5′、6′
外 型 尺 寸
1200mm×650mm×1100mm
儀 器 重 量
250KG
測樣品直徑
硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片；
測晶棒長度
硅單晶 Φ3—8英寸；500毫米長晶棒
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