| YX-5D\5DA硅單晶棒射線定向儀 |
用途：該儀器專門用于硅單晶棒定向測量，與我公司生產(chǎn)的YX-5Z\6Z及多線切割設(shè)備配套使用，最大特點(diǎn)是，測量晶向后直接計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，并對(duì)偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)算出偏晶向的角度值。
結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。計(jì)算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測量精度±0.008度（±30〃），能夠測量直徑3～8英寸，長450㎜，測量晶面為111、100等。
型號(hào)： YX-5D為雙測角儀,一邊定向計(jì)算，一邊測片（8英寸）。
YX-5DA為單測角儀，定向計(jì)算。
主要參數(shù)：
|
電 源 |
220V 50HZ |
|
功 率 |
0.5KV |
|
管 電 壓 |
30KVP |
|
管 電 流 |
0-5mA |
|
晶棒直徑 |
3～8英寸 |
|
晶棒長度 |
400㎜ |
|
測量晶向 |
111、100 |
|
定向精度 |
0.008度（±30″） |
|
角度顯示 |
以度為單位、最小讀數(shù)0.001度 |
|
射線窗口 |
電磁腳踏光閘 |
|
計(jì)算角度 |
α與β（X與Y） |
|
尺 寸 |
長123×寬330×高1440 |
|
重 量 |
300㎏ | |
|
|
