特點：
1. 采用最新進(jìn)口同類型X射線光源和高壓電源，大大提高了射線強(qiáng)度，具有穩(wěn)定性高，耐用性好等特點。更針對特殊晶體與衍射峰值弱不便于測量的情況，例如：金剛石、磷化銦等人工或部分天然晶體。
2. 樣品臺采用自動旋轉(zhuǎn)方式，便于晶片的四點測量，并在操作過程中可觀察當(dāng)前旋轉(zhuǎn)角度，避免了手動旋轉(zhuǎn)鏡片擺放不準(zhǔn)確的誤差。
3. 取消了手輪的操作，全封閉式，有效保護(hù)操作人員。只需輕觸觸摸屏或腳踏開關(guān)，即可實現(xiàn)標(biāo)晶校準(zhǔn)和測量晶體。
4. 采用PLC控制技術(shù)，自動化程度高、故障率極低、抗干擾能力強(qiáng)、系統(tǒng)穩(wěn)定性好。
5. 具有測量數(shù)據(jù)打印功能，USB數(shù)據(jù)輸出接口，可轉(zhuǎn)換成EXCEL格式通過電腦存儲管理。
6. 可根據(jù)被測樣品不同，定制各種樣品臺和夾具，保證測量精度和使用的方便性。
7. 可進(jìn)行晶片或晶棒的角度自動測量，應(yīng)用于各加工環(huán)節(jié)的角度檢驗，提高產(chǎn)品合格率。
技術(shù)指標(biāo)：
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